一種晶圓切割PO保護膜用UV減粘膠及制備方法
申請公布號:CN119899601A
申請人:西安航天三沃化學有限公司
摘要:本發明涉及壓敏膠技術領域,尤其涉及一種晶圓切割PO保護膜用UV減粘膠及制備方法。所述UV減粘膠的制備原料包括A組分和B組分:按照質量百分比計,所述A組分包括97‑99.5%丙烯酸酯聚合物,余量光引發劑;所述B組分包括固化劑;所述丙烯酸酯聚合物為含有不飽和支鏈的丙烯酸酯聚合物。本發明提供的光熱固化UV減粘膠能夠很好地用于半導體晶圓切割PO保護膜,將此膠涂布在PO膜基材表面固化形成膠粘層后,具有很好的耐酸堿性、耐高溫性、耐切削液及對晶圓片具有較高的的粘接力,可以替代傳統的丙烯酸酯熱固化膠層,滿足市場指標要求。
發明內容(節選):本發明選擇功能交聯單體為季戊四醇三丙烯酸酯、丙烯酸羥乙酯,使其分別與異佛爾酮二異氰酸酯反應,制備得到含有不飽和雙鍵和異氰酸酯基的聚氨酯丙烯酸酯預聚物,分別記為低聚物A或低聚物B。經過實驗探究,當反應時-0H與-NC0的摩爾比不同,即低聚物A或低聚物B在丙烯酸酯聚合物中的接枝量不同時,最終UV減粘膠的UV固化前后的剝離強度具有明顯的差異,且UV減粘膠的高溫穩定性也有優劣之分;只有保持適當的摩爾比,最終得到的UV減粘膠才能夠在UV固化后剝離強度降至趨近于0、易于剝離,且高溫處理后無殘膠。
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