[發明公布] 低溫固化、低熱膨脹光敏聚酰亞胺樹脂及其光刻膠

申請公布號：CN121005901A

申請公布日：2025.11.25

申請人：中國科學院長春應用化學研究所

摘要：本發明提供了低溫固化、低熱膨脹光敏聚酰亞胺樹脂，其特征在于，具有式I所示結構，式I中，X為聚酰胺酸酯聚合的四羧酸二酐的殘基；Y至少包含含氮芳雜環結構的基團；R1為C4～C20的可聚合烯烴結構的基團；R2為C1～C12的直鏈或支鏈烷烴基，或含有醚鍵‑O‑的直鏈或支鏈烷烴基；M至少包含胺基、酐基中的一種；n為聚合度，n＝2～150。本發明提供的光敏聚酰亞胺樹脂同時含有烯丙基側鏈、脂肪側鏈，主鏈含有含氮芳雜環，可以同時達到低固化溫度、低熱膨脹系數、與銅基材的高附著力、且在環戊酮顯影的分辨率目標。